(495) 925-0049, ITShop интернет-магазин 229-0436, Учебный Центр 925-0049
  Главная страница Карта сайта Контакты
Поиск
Вход
Регистрация
Рассылки сайта
 
 
 
 
 

Mark detection in electron beam lithography using evaluation of wave signal symmetry

Источник: sciencedirect

GenyaMatsuokaTeruoIwasakiHiroyoshiAndouYoshinoriMinamide

Central Research Laboratory, Hitachi Ltd., Kokubunji Tokyo 185, Japan
Instruments Division, Hitachi Ltd., Katsuta Ibaraki 312, Japan

Abstract

A new mark detection method has been developed using the symmetry of mark signals. The calculation of the symmetry is executed by a digital signal processor in order to reduce the detection time to less than 100 msec. Detection accuracy is estimated by a simulator. Calculated accuracy is compared with experiment results. The detection system is adopted in a new electron beam lithography system(1).

Microelectronic Engineering

Volume 21, Issues 1-4, April 1993, Pages 165-168


 Распечатать »
 Правила публикации »
  Обсудить материал в конференции Дискуссии и обсуждения общего плана »
Написать редактору 
 Рекомендовать » Дата публикации: 27.01.2021 
 

Магазин программного обеспечения   WWW.ITSHOP.RU
ABBYY Business Card Reader 2.0 for Windows (download), электронный ключ
TeeBI for RAD Studio Suite with source code single license
GFI LanGuard подписка на 1 год (25-49 лицензий)
Business Studio 4.2 Enterprise. Конкурентная лицензия + Business Studio Portal 4.2. Пользовательская именная лицензия.
Quest Software. TOAD Professional Edition
 
Другие предложения...
 
Курсы обучения   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
Магазин сертификационных экзаменов   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
3D Принтеры | 3D Печать   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
Новости по теме
 
Рассылки Subscribe.ru
Информационные технологии: CASE, RAD, ERP, OLAP
Программирование на Microsoft Access
CASE-технологии
OS Linux для начинающих. Новости + статьи + обзоры + ссылки
Реестр Windows. Секреты работы на компьютере
СУБД Oracle "с нуля"
Программирование на Visual С++
 
Статьи по теме
 
Новинки каталога Download
 
Исходники
 
Документация
 
Обсуждения в форумах
Поиск рабочих зеркал МарафонБет (8)
На сегодняшний день, просторы интернета позволяют нам легко найти зеркало на Марафон для входа в...
 
Нормальные казино в 2021 году (24)
После долгих поисков все таки смог найти хорошие игровухи, хотя и ушла куча времени, пока я...
 
Управление медиафайлами (1)
Обратите внимание на вот эту платформу https://picvario.ru для хранения, поиска и...
 
Ищу программиста для написания программы (84)
Ищу программиста ,владеющего Вижуал Бэйсик и программированием в Экселе, для написания...
 
Ставки на спорт для новичков (8)
Если читаете эту статью https://futbolstavkiprognozy.ru/stavki-dlya-novichkov/, то наверняка...
 
 
 



    
rambler's top100 Rambler's Top100