(495) 925-0049, ITShop интернет-магазин 229-0436, Учебный Центр 925-0049
  Главная страница Карта сайта Контакты
Поиск
Вход
Регистрация
Рассылки сайта
 
 
 
 
 

Mark detection in electron beam lithography using evaluation of wave signal symmetry

Источник: sciencedirect

GenyaMatsuokaTeruoIwasakiHiroyoshiAndouYoshinoriMinamide

Central Research Laboratory, Hitachi Ltd., Kokubunji Tokyo 185, Japan
Instruments Division, Hitachi Ltd., Katsuta Ibaraki 312, Japan

Abstract

A new mark detection method has been developed using the symmetry of mark signals. The calculation of the symmetry is executed by a digital signal processor in order to reduce the detection time to less than 100 msec. Detection accuracy is estimated by a simulator. Calculated accuracy is compared with experiment results. The detection system is adopted in a new electron beam lithography system(1).

Microelectronic Engineering

Volume 21, Issues 1-4, April 1993, Pages 165-168


 Распечатать »
 Правила публикации »
  Обсудить материал в конференции Дискуссии и обсуждения общего плана »
Написать редактору 
 Рекомендовать » Дата публикации: 27.01.2021 
 

Магазин программного обеспечения   WWW.ITSHOP.RU
TeeBI for RAD Studio Suite with source code single license
Oracle Data Access Components (ODAC) Standard Subscription - single license
DevExpress / ASP.NET Subscription
Quest Software. TOAD for Oracle Edition
TeeGrid VCL/FMX Source Code single license
 
Другие предложения...
 
Курсы обучения   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
Магазин сертификационных экзаменов   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
3D Принтеры | 3D Печать   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
Новости по теме
 
Рассылки Subscribe.ru
Информационные технологии: CASE, RAD, ERP, OLAP
Программирование на Microsoft Access
CASE-технологии
OS Linux для начинающих. Новости + статьи + обзоры + ссылки
СУБД Oracle "с нуля"
Программирование на Visual Basic/Visual Studio и ASP/ASP.NET
Компьютерная библиотека: книги, статьи, полезные ссылки
 
Статьи по теме
 
Новинки каталога Download
 
Исходники
 
Документация
 
Обсуждения в форумах
Разработка программ базы данных (74)
Написание прикладных компьютерных программ (базы данных) на заказ. Разработка корпоративных...
 
Лучшие букмекерские конторы и бесплатные прогнозы (1)
Мы делаем честные рейтинги букмекерских контор https://superbet.guru/, в основе которых лежит...
 
Легализация покера в Украине. Ваши мнения (1)
Прочел тут тему на портале о покере в Украине https://poker.ua/ , что как бы легалайз. Но куча...
 
Арго на деньги (2)
Интересная и захватывающая игра на деньги в казино Argo https://zerkalo-argo-casino.site/ это...
 
Кухня (7)
Хочу сделать ремонт на кухне. Где приобрести кухонную плиту? Какой фирмы стоит её рассматривать?
 
 
 



    
rambler's top100 Rambler's Top100