(495) 925-0049, ITShop интернет-магазин 229-0436, Учебный Центр 925-0049
  Главная страница Карта сайта Контакты
Поиск
Вход
Регистрация
Рассылки сайта
 
 
 
 
 

Mark detection in electron beam lithography using evaluation of wave signal symmetry

Источник: sciencedirect

GenyaMatsuokaTeruoIwasakiHiroyoshiAndouYoshinoriMinamide

Central Research Laboratory, Hitachi Ltd., Kokubunji Tokyo 185, Japan
Instruments Division, Hitachi Ltd., Katsuta Ibaraki 312, Japan

Abstract

A new mark detection method has been developed using the symmetry of mark signals. The calculation of the symmetry is executed by a digital signal processor in order to reduce the detection time to less than 100 msec. Detection accuracy is estimated by a simulator. Calculated accuracy is compared with experiment results. The detection system is adopted in a new electron beam lithography system(1).

Microelectronic Engineering

Volume 21, Issues 1-4, April 1993, Pages 165-168


 Распечатать »
 Правила публикации »
  Обсудить материал в конференции Дискуссии и обсуждения общего плана »
Написать редактору 
 Рекомендовать » Дата публикации: 27.01.2021 
 

Магазин программного обеспечения   WWW.ITSHOP.RU
Quest Software. SQL Navigator for Oracle
ESET NOD32 Cyber Security Pro, лицензия на 1 год
Stimulsoft Reports Server Team 10 users
AutoCAD LT 2022 Commercial New Single-user ELD Annual Subscription
Traffic Inspector GOLD 5 Учетных записей
 
Другие предложения...
 
Курсы обучения   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
Магазин сертификационных экзаменов   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
3D Принтеры | 3D Печать   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
Новости по теме
 
Рассылки Subscribe.ru
Информационные технологии: CASE, RAD, ERP, OLAP
Программирование на Microsoft Access
CASE-технологии
OS Linux для начинающих. Новости + статьи + обзоры + ссылки
СУБД Oracle "с нуля"
Программирование на Visual С++
Программирование на Visual Basic/Visual Studio и ASP/ASP.NET
 
Статьи по теме
 
Новинки каталога Download
 
Исходники
 
Документация
 
Обсуждения в форумах
Помощь по MS Access (345)
Доброе время суток. Случайно оказался на этом сайте, искал статьи по OLAP. Вижу, что...
 
Требуется Краснодар: Java -разрабочик (2)
Обязанности: Разработка корпоративных backend-приложений для автоматизации розничных продаж...
 
Рабочее зеркало БК Мостбет - как найти? (3)
Узнайте обо всех особенностях по поиску рабочего зеркала БК Мостбет из нашей статьи...
 
Ставки на спорт (7)
Добрый вечер! Давно хочу попробовать зарабатывать на ставках. Что посоветуете? Стоит пробовать?
 
Поиск рабочих зеркал МарафонБет (2)
На сегодняшний день, просторы интернета позволяют нам легко найти зеркало на Марафон для входа в...
 
 
 



    
rambler's top100 Rambler's Top100