(495) 925-0049, ITShop интернет-магазин 229-0436, Учебный Центр 925-0049
  Главная страница Карта сайта Контакты
Поиск
Вход
Регистрация
Рассылки сайта
 
 
 
 
 

Mark detection in electron beam lithography using evaluation of wave signal symmetry

Источник: sciencedirect

GenyaMatsuokaTeruoIwasakiHiroyoshiAndouYoshinoriMinamide

Central Research Laboratory, Hitachi Ltd., Kokubunji Tokyo 185, Japan
Instruments Division, Hitachi Ltd., Katsuta Ibaraki 312, Japan

Abstract

A new mark detection method has been developed using the symmetry of mark signals. The calculation of the symmetry is executed by a digital signal processor in order to reduce the detection time to less than 100 msec. Detection accuracy is estimated by a simulator. Calculated accuracy is compared with experiment results. The detection system is adopted in a new electron beam lithography system(1).

Microelectronic Engineering

Volume 21, Issues 1-4, April 1993, Pages 165-168


 Распечатать »
 Правила публикации »
  Написать редактору 
 Рекомендовать » Дата публикации: 27.01.2021 
 

Магазин программного обеспечения   WWW.ITSHOP.RU
The BAT! Home Upgrade- 1 компьютер
VMware Workstation 14 Pro for Linux and Windows, ESD
Quest Software. TOAD for Oracle Edition
Quest Software. Toad for DBA Suite for Oracle
NERO 2016 Classic ESD. Электронный ключ
 
Другие предложения...
 
Курсы обучения   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
Магазин сертификационных экзаменов   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
3D Принтеры | 3D Печать   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
Новости по теме
 
Рассылки Subscribe.ru
Информационные технологии: CASE, RAD, ERP, OLAP
Программирование на Microsoft Access
CASE-технологии
OS Linux для начинающих. Новости + статьи + обзоры + ссылки
СУБД Oracle "с нуля"
Все о PHP и даже больше
Corel DRAW - от идеи до реализации
 
Статьи по теме
 
Новинки каталога Download
 
Исходники
 
Документация
 
 



    
rambler's top100 Rambler's Top100