(495) 925-0049, ITShop интернет-магазин 229-0436, Учебный Центр 925-0049
  Главная страница Карта сайта Контакты
Поиск
Вход
Регистрация
Рассылки сайта
 
 
 
 
 

Direct-write electron beam lithography in silicon dioxide at low energy

Источник: savoirs

Résumé
Abstract : Electron beam lithography in silicon dioxide has been investigated with energies ranging from 0.5 up to 6 keV. The etch ratio of SiO2SiO2 has been studied and interpreted with regard to the limited penetration of electrons at such low energies. Monte Carlo simulations have been carried out to investigate the depth of penetration and the density of energy absorbed by SiO2SiO2. The etch ratio is also shown to depend on the dilution of the developer (a buffered hydrofluoric acid diluted in water). Finally, a possible application of low energy direct writing in silicon dioxide is described for the control of damascene processes, enabling the fabrication of nanodevices embedded in an insulator.
URI

http://hdl.handle.net/11143/11307

Файлы для загрузки


 Распечатать »
 Правила публикации »
  Обсудить материал в конференции Дискуссии и обсуждения общего плана »
Написать редактору 
 Рекомендовать » Дата публикации: 27.01.2021 
 

Магазин программного обеспечения   WWW.ITSHOP.RU
ABBYY Lingvo x6 Европейская Профессиональная версия, электронный ключ
VMware Workstation 14 Player for Linux and Windows, ESD
GFI FaxMaker и 1 год поддержки (10-49 лицензий)
TeeGrid VCL/FMX Source Code single license
SAP Crystal Server 2011 WIN INTL 5 CAL License
 
Другие предложения...
 
Курсы обучения   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
Магазин сертификационных экзаменов   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
3D Принтеры | 3D Печать   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
Новости по теме
 
Рассылки Subscribe.ru
Информационные технологии: CASE, RAD, ERP, OLAP
Программирование на Microsoft Access
CASE-технологии
OS Linux для начинающих. Новости + статьи + обзоры + ссылки
СУБД Oracle "с нуля"
Вопросы и ответы по MS SQL Server
Windows и Office: новости и советы
 
Статьи по теме
 
Новинки каталога Download
 
Исходники
 
Документация
 
Обсуждения в форумах
Разработка программ базы данных (74)
Написание прикладных компьютерных программ (базы данных) на заказ. Разработка корпоративных...
 
Лучшие букмекерские конторы и бесплатные прогнозы (1)
Мы делаем честные рейтинги букмекерских контор https://superbet.guru/, в основе которых лежит...
 
Легализация покера в Украине. Ваши мнения (1)
Прочел тут тему на портале о покере в Украине https://poker.ua/ , что как бы легалайз. Но куча...
 
Арго на деньги (2)
Интересная и захватывающая игра на деньги в казино Argo https://zerkalo-argo-casino.site/ это...
 
Кухня (7)
Хочу сделать ремонт на кухне. Где приобрести кухонную плиту? Какой фирмы стоит её рассматривать?
 
 
 



    
rambler's top100 Rambler's Top100