(495) 925-0049, ITShop интернет-магазин 229-0436, Учебный Центр 925-0049
  Главная страница Карта сайта Контакты
Поиск
Вход
Регистрация
Рассылки сайта
 
 
 
 
 

Изобретение Калифорнийского университета в области EUV-литографии

Источник: nanonewsnet

Суть предложения заключается в использовании относительно недорогих лазеров на базе двуокиси углерода в 32-нм и более "тонких" техпроцессах. При этом время импульса должно увеличиться от 20 наносекунд, что характерно для современных EUV-лазеров, до более чем 100 наносекунд.

В настоящее время в качестве наиболее вероятных претендентов среди литографических технологий для производства по 22-нм и менее нормам рассматриваются EUV, двойные шаблоны, нанопечать, и электроннолучевая литография множественным пучком. Но, судя по текущему состоянию дел, производители по большей части полагаются именно на EUV-литографию. Компании ASML и Nikon независимо друг от друга планируют представить предварительные версии EUV-инструментов к концу 2009 г. В этом оборудовании будут использоваться лазер-плазменные (Laser Produced Plasma, LPP) источники излучения производства компании Cymer. Источники сообщают, что японская компания GigaPhoton также активно реализует программу по разработке и выпуску LPP-продукции.

Ссылки по теме


 Распечатать »
 Правила публикации »
  Написать редактору 
 Рекомендовать » Дата публикации: 16.07.2008 
 

Магазин программного обеспечения   WWW.ITSHOP.RU
Panda Mobile Security - ESD версия - на 1 устройство - (лицензия на 1 год)
VMware Workstation 14 Pro for Linux and Windows, ESD
IBM RATIONAL Clearcase Floating User License + Sw Subscription & Support 12 Months
Quest Software. Toad for SQL Server Development Suite
Quest Software. SQL Navigator Professional Edition
 
Другие предложения...
 
Курсы обучения   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
Магазин сертификационных экзаменов   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
3D Принтеры | 3D Печать   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
Новости по теме
 
Рассылки Subscribe.ru
Информационные технологии: CASE, RAD, ERP, OLAP
Утиль - лучший бесплатный софт для Windows
3D и виртуальная реальность. Все о Macromedia Flash MX.
Краткие описания программ и ссылки на них
 
Статьи по теме
 
Новинки каталога Download
 
 



    
rambler's top100 Rambler's Top100