Программно-аппаратный комплекс автоматизации электронно-лучевой литографии PROXY

Программно-аппаратный комплекс PROXY предназначен для автоматизации процессов литографии на сканирующих устройствах различных типов, таких как растровый электронно-лучевой микроскоп (например, JEOL, ZEIS и т.п.), индустриальный электронный литограф (ZRM12, ZRM20) и ионный литограф.

PROXY по своим характеристикам является системой нового поколения, позволяя измерить и на лету программно исправлять искажения в положении электронного пучка, которые до этого не могли быть скомпенсированы.

С помощью PROXY вы можете превратить ваш сканирующий электронный микроскоп в литограф и использовать его для создания объектов с нано-метровой точностью. Область применения: микроэлектроника, оптики, оптоэлектроника, микромеханика, голограммы.

PROXY обеспечивает весь цикл работ по литографии, начиная с подготовки топологии структуры микрокристалла и заканчивая многократным экспонирование образца, с возможностью идеального совмещения слоев.

PROXY успешно решает проблемы подготовки данных, коррекции эффекта близости, моделирования проявления резиста, управления экспонированием, получением видеоизображения микрокристалла, и другие проблемы возникающие при литографии.

PROXY предоставляет многогранный набор функций и средств для достижения качественного результата. Он имеет удобный и интуитивно ясный пользовательский интерфейс и развитую систему справочной информации.

Используя PROXY, вы сможете быстро и качественно подготовить данные, произвести над ними коррекцию и выполнить моделирование и экспонирование.

Отправить ссылку на страницу по e-mail

Interface Ltd.

По техническим вопросам обращайтесь к вебмастеру
Документ опубликован: 11.07.00