PROXY for Windows
Комплекс Proxy for Windows предоставляет обширный набор функций и средств
для достижения качественных результатов. Обладает удобным и интуитивно
понятным интерфейсом, а также развитой системой подсказок в работе с ним.
Пользуясь им можно быстро и качественно подготовить данные, проверить их
корректность и выполнить моделирование и экспонирование. Основная функциональность
заключается в следующем.
-
Подготовка данных (проектирование структур) основана на работе с иерархической
многослойной базой данных литографических структур. Специальная архитектура
базы данных обеспечивает с одной стороны быстрый поиск и доступ к элементам
расположенным в непосредственной близости друг от друга, что является очень
важным качеством при отображении и обработке данных. С другой стороны иерархичность
данных позволяет создавать очень сложные структуры с минимальными размерами
собственно файла базы данных.
-
Научно обоснованная методика коррекции эффекта близости позволяет гарантированно
устранить влияние эффекта близости и получить результаты литографии с известной
точностью. Существует версия, которая позволяет производить коррекцию 3D
структур, то есть создавать структуры с заранее заданным микро(нано) рельефом
в резисте.
-
Реализованная методика моделирования проявления резиста после экспонирования
позволяет наглядно и быстро получить результат литографии (форму поверхности),
без проведения реального экспонирования и проявления. Многочисленные экспериментальные
проверки подтвердили высокое качество и надежность моделирования.
-
Встроенная "экспертная" система помогает определить значения параметров
резиста и подложки, а также необходимое базовое время экспозиции. Предоставляется
возможность расширения базы данных характеризующей свойства резистов и
подложек.
-
Интерактивный графический редактор иерархических геометрических структур
позволяет осуществлять проектирование структур для литографии в удобном
графическом виде, предоставляя различные различные способы отображения
и дополнительной обработки данных.
-
Поддержка различных типов файловых форматов данных (такие как AutoCad текстовый
формат обмена данными, стандарт Geometrical Data Stream II GDSII) предоставляют
возможность подготавливать исходные данные для литографии с помощью другого
программного обеспечения или использовать созданные ранее данные, а также
экспортировать данные для обработки на другом программном обеспечении.
-
Снятие видео сигнала с прибора позволяет получить оцифрованное видео изображение
в виде файла (TIFF формат) и произвести дальнейшую обработку изображения
по распознаванию образов. Например, для распознавания маркерных знаков
при повторном врисовывании.
-
Удобные интерактивные средства предоставляют возможность произвести точную
настройку поля микроскопа, настройку координатной системы стола, измерить
характеристики дисторсии поля и определить параметры динамической задержка
луча. Разработаны и встроены специальные алгоритмы позволяющие программно
компенсировать упомянутые выше искажения.
-
Поддержка различных типов столов дает возможность настроиться на практически
любое оборудование и обеспечивает создание литографических структур больших
размеров, которые не могут быть изготовлены в одном поле экспонирования
без переездов стола.
-
Таким образом возможно экспонирование структур с высокой точностью практически
любых размеров, обеспечиваемое переездами стола и программной стыковкой
полей. При выполнении экспонирования учитываются и программно корректируются
эффект близости, дефекты развертки луча, динамическая задержка луча и дисторсия
поля. Коррекция дисторсии поля позволяет создавать достаточно большие (до
1-2 мм) структуры в одном поле.