(495) 925-0049, ITShop интернет-магазин 229-0436, Учебный Центр 925-0049
  Главная страница Карта сайта Контакты
Поиск
Вход
Регистрация
Рассылки сайта
 
 
 
 
 

Mark detection in electron beam lithography using evaluation of wave signal symmetry

Источник: sciencedirect

GenyaMatsuokaTeruoIwasakiHiroyoshiAndouYoshinoriMinamide

Central Research Laboratory, Hitachi Ltd., Kokubunji Tokyo 185, Japan
Instruments Division, Hitachi Ltd., Katsuta Ibaraki 312, Japan

Abstract

A new mark detection method has been developed using the symmetry of mark signals. The calculation of the symmetry is executed by a digital signal processor in order to reduce the detection time to less than 100 msec. Detection accuracy is estimated by a simulator. Calculated accuracy is compared with experiment results. The detection system is adopted in a new electron beam lithography system(1).

Microelectronic Engineering

Volume 21, Issues 1-4, April 1993, Pages 165-168


 Распечатать »
 Правила публикации »
  Обсудить материал в конференции Дискуссии и обсуждения общего плана »
Написать редактору 
 Рекомендовать » Дата публикации: 27.01.2021 
 

Магазин программного обеспечения   WWW.ITSHOP.RU
NauDoc Enterprise 10 рабочих мест
ESET NOD32 Антивирус - лицензия на 2 года на 3ПК
The BAT! Professional - 1 компьютер
Oracle Data Access Components (ODAC) Standard single license
NERO 2016 Classic ESD. Электронный ключ
 
Другие предложения...
 
Курсы обучения   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
Магазин сертификационных экзаменов   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
3D Принтеры | 3D Печать   WWW.ITSHOP.RU
 
Другие предложения...
 
Новости по теме
 
Рассылки Subscribe.ru
Информационные технологии: CASE, RAD, ERP, OLAP
Программирование на Microsoft Access
CASE-технологии
OS Linux для начинающих. Новости + статьи + обзоры + ссылки
СУБД Oracle "с нуля"
Компьютерные книги. Рецензии и отзывы
Corel DRAW - от идеи до реализации
 
Статьи по теме
 
Новинки каталога Download
 
Исходники
 
Документация
 
Обсуждения в форумах
Пишу программы для Windows (в том числе базы данных) (5)
Написание компьютерных программ на заказ. Разработка корпоративных информационных...
 
Требуется Программист 1 С (3)
Готовы обсуждать вариант удаленной работы Требования: Опыт работы по программированию 1С...
 
Отличается ли ДрифтКазино от беттинга? (20)
Друзья, давно заметил, что на Дрифте уже несколько месяцев во всю рекламируется и предлагается...
 
Фавориты и призёры Евро 2020 (1)
Среди тех, кто выиграет Евро-2020 https://eurocup-2020.ru/about-euro/kto-pobedit-na-evro, мы...
 
Написание любых программ на заказ (21)
Напишу любую программу на заказ
 
 
 



    
rambler's top100 Rambler's Top100