Компания Interface Ltd. произвела поставку и установку программно-аппаратного комплекса NanoMaker для Национальной Физической Лаборатории стандартизации (NPL) Великобритании. Программно-аппаратный комплекс NanoMaker предназначен для проектирования, подготовки данных, а также создания 2D и 3D структур методами электронной литографии на базе растровых электронных микроскопов. Установка была выполнена на базе сканирующего электронного микроскопа Hitachi S-4000 SEM с целью преобразования данного микроскопа в литографическую систему.
Выбор NPL определил тот факт, что по своим функциональным возможностям и удобству интерфейса NanoMaker превосходит имеющиеся зарубежные аналоги. Программно-аппаратный комплекс NanoMaker предоставляет пользователю интуитивно понятный графический интерфейс для создания и проектирования структур, позволяет осуществлять моделирование проявления резиста, учитывать коррекцию эффекта близости для плоских и трехмерных структур, рассчитывать компенсацию статических искажений отклоняющей системы пучка, измерять и активно подавлять динамические ошибки этой системы. NanoMaker позволяет также осуществлять дизайн и моделирование таких сложных структур как голограммы и киноформная оптика, а также работать с дозовыми кривыми резистов для трехмерных структур. В стандартные функции NanoMaker включены функции работы со столом, снятия изображения, возможности «врисовывания» в существующие структуры с высокой степенью точности. Предусмотрена возможность обработки полученного изображения: сглаживание изображения, просмотр поперечного сечения, нанесение меток масштаба и надписей.
Графический редактор в качестве базовых элементов имеет как простые, так и сложные геометрические объекты. Один из новых базовых элементов редактора - зонная пластина. Пользователю предоставляется возможность работать с текстом, пользоваться функцией задания текущего времени. Пользователю предоставляется возможность работы со справочной таблицей, содержащей информацию и рекомендации практически по всем известным материалам резиста и подложки.
Достоинством системы NanoMaker является возможность работать с изображениями, полученными в других форматах, например, .dfx, .csf, .gds, .tif, .bmp. Настоящая версия NanoMaker выпускается как 32-х разрядное приложение и предназначена для работы в среде Windows 9x, NT, 2000 и XP.
Разработка программно-аппаратного комплекса NanoMaker была осуществлена для широкого спектра микроскопов и в настоящее время внедрена и эксплуатируется на JEOL JSM-840, LEO 1560, BS-300, Philips SEM 525, Hitachi S-4000, на комплексах ZRM-12, ZRM-20, а также на ионных литографах с фокусированным пучком.
Программно-аппаратный комплекс NanoMaker способен на практике превращать растровые электронные микроскопы в полноценные литографы. Использование NanoMaker на промышленных литографических установках (например, ZBA20, ZBA21) существенно расширяет их возможности, улучшает характеристики и позволяет достичь предельного разрешения.
