Международный коллектив, состоящий из специалистов Наноцентра KERI (Miryang, Ю.Корея), компании 3SMK (Сеул, Ю.Корея), компании Интерфейс (Москва, Россия) и ИПТРАН (Черноголовка, Россия) добились успеха в проектировании и изготовлении радужных голограмм высокого качества.
Основу радужных голограмм составляют дифракционные решетки переменой скважности с минимальным размером штриха от 50нм, заполняющие площади цилиндрического штампа (см. рис.1).
Рис.1 Электронная литография на основе РЭМ колонны обеспечивает изготовление голограмм высокого качества (минимальный размер штрихов от 50нм) на цилиндрическом штампе (площадь поверхности ~ 30см на 30см).
При этом использовались:
- программное обеспечение "RainBow" для дизайна/оптимизации радужных голограмм и подготовки данных для литографического процесса (Интерфейс, ИПТМ РАН)
- электронная литография на специализированном РЭМ под управлением NanoMaker (Интерфейс, KERI)
- оригинальная технология изготовления металлического штампа (с использованием цилиндрический технологии, KERI)
- оригинальная технология (KERI) переноса рельефа в тонкий пластмассовый слой
Совместно разработанная технология имеет ряд преимуществ по сравнению:
- с традиционным оптическим (dot-matrix) методом за счет получения голограмм более высокого качества
- с использованием промышленных электронных литографов за счет меньшей стоимости литографического оборудования
По результатам произведенных работ корейская сторона (Наноцентр KERI и 3SMK) взяла в аренду программное обеспечение "RainBow" и, в свою очередь, российские партнеры произвели обучение проектированию радужных голограмм и обеспечивают гарантийное обслуживание литографической системы.
NanoTechnologyResearchCenter, KERI- Научно-исследовательский Центр нанотехнологий является подразделением Корейского Исследовательского Электротехнического Института в Мирянге (Ю.Корея). Центр исследует и развивает технологии наноимпринтинга по большим площадям с использованием цилиндрического штампа для изготовления (стерео) дисплеев высокой яркости, экономичных элементов солнечной энергетики, радужных голограмм и т.д. Использование цилиндрического штампа (вместо традиционных плоских пластин) потребовало кардинального изменения и усовершенствования всех сопутствующих нанотехнологий, например, нанесения резиста, электронной литографии, сухого травления.
3SMK(Сеул, Ю.Корея)- Корейская малая частная компания, созданная для внедрения научных разработок в промышленное производство.
ИПТМ РАН - Институт Проблем технологии микроэлектроники РАН (Черноголовка) проводит исследования по направлениям:
- Физические основы и технология формирования приборных структур микро- и наноэлектроники;
- Разработка основ материаловедения и технологии элементной базы микро и наносистемной техники;
- Физические принципы создания элементной базы наноэлектроники и квантовых компьютеров.
Интерфейс (Москва) - Является ведущим российским поставщиком инструментальных средств и решений для создания корпоративных информационных систем, для обеспечения средствами нанотехнологий. Компания "Интерфейс" предоставляет полный комплекс услуг, направленных на повышение эффективности и устойчивости бизнеса, помогает осуществить прогрессивные изменения в его организации.